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真空负压检漏仪。其Z大特点是体积小(5kg)携带 方便,可检漏率小,工作真空度低,反映时间快, 能准确定位等特点。其主要运用于真空炉,真空镀 膜机、真空设备、低温容器、中央空调真空系统等 各种设备检漏。工作时只需机械泵排气,让被检设 备保持负压即可检漏。其工作原理与氦质谱 类似。但工作真空度大大低于氦质谱,且检 漏成本也低于氦质谱。
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